人工鑽石晶片 半導體明日之星

記者 李珺綺、向時薇、貝安娜/採訪報導

現今半導體技術快速演進,鑽石不再只是珠寶,而是成為產業尋求突破的新材料。人工鑽石具備高導熱性、高硬度與耐高壓等特性,被視為解決晶片散熱與性能瓶頸的可能方案。儘管人工鑽石展現出強大的性能優勢,但量產能力、製程整合及成本仍是挑戰。這場以鑽石為核心的材料競賽,正逐步改變半導體的未來。

2004年顏志學在華盛頓卡內基研究所與鑽石製造機合影。照片提供/顏志學

材質特性 符合需求

半導體技術不斷進步,但晶片散熱與耐壓問題也逐漸浮現,促使各界尋找新材料,人工鑽石因而受到關注。對此趨勢,小資理財存股Youtuber楊博凱說明,人工鑽石是科學家在實驗室中模擬天然鑽石高溫高壓的生長環境,使碳原子重新排列,形成具高硬度與高導熱性的鑽石,而此特性正好滿足半導體對新材料的需求。

台灣聯合寶石鑑定教學中心所長林書弘書面回覆表示,人工鑽石最早可追溯至1950年代,美國通用電氣公司(GE)利用高壓高溫法生產出第一批經科學驗證確認的合成工業級鑽石,而此鑽石適合在工業界做超硬材料使用。

研磨材料用的高壓高溫合成鑽石。攝影/李珺綺

隨著人工鑽石逐漸在業界受關注,因其與天然鑽石的特性有差別,所以分辨兩者成為工業應用的重要課題。楊博凱表示,兩者在外觀上幾乎無異,所以需要透過科學儀器去檢測,查看它的結構差異才能辨別。

磷光快篩儀畫面中可依顏色分辨出CVD鑽石(左)、天然鑽石(中)、高壓高溫鑽石(右)。攝影/李珺綺

合成方式 兩大製程

人工鑽石主要透過兩大製程形成,第一種是高壓高溫法(HPHT),第二種是化學氣相沉積法(CVD)。美國Upsuns Diamond Inc創始人顏志學說明,HPHT的設備體積龐大,實際能生成的鑽石面積有限,一顆鑽石僅約手掌心大小一至兩英吋。而在製程過程中,為了讓碳原子在高溫條件下按鑽石的晶格排列,並避免與氧氣等氣體反應生成其他物質,會採用抽真空。但HPHT的製程環境未抽真空,所以生成的晶體雜質較多,純度有限,若放大產品尺寸,單位成本將會大幅增加。反之,CVD的製程操作相對簡單,且在真空條件下進行,有助於降低雜質,使鑽石純度更高、品質更穩定。

宏崴實業有限公司總經理朱宏宥指出,CVD的技術門檻主要在晶種選擇與生長參數的設定,而生長速度取決於是否要生成單晶或多晶,完成時間約略在一週到三週。不同於HPHT,CVD能製作更大面積的鑽石薄膜,簡單來說,鑽石薄膜為人工鑽石製成的且厚度很薄的一層膜狀材料,目前最大可達近十二英吋。由於具備高純度與大尺寸的特性,目前人工鑽石是以CVD生產為主。

 

單晶:內部的原子在三維空間中有規律且周期性地排列,晶體結構連續統一,物理性質會隨原子排列方向而改變(各向異性)。

多晶:由許多小晶粒組成,每個晶粒內的原子排列有序,但晶粒之間方向不一致,使整體性質較均勻(各向同性)。

 

資料來源/宏崴實業有限公司

縮短時間 降低成本 

785nm雷射拉曼光譜儀正在掃描鑽石。攝影/李珺綺

關於台灣人工鑽石晶片技術的發展,朱宏宥表示,早在 1990 至 2000 年間,工研院及部分學校便已展開研究。顏志學補充,二三十年前,台灣已是全球前三大的CVD研發中心,僅次於美國與日本。早期主要生產多晶片、奈米鑽石和石墨烯,而它們因無法滿足晶片對材料穩定性與可控性的要求,所以無法作為晶片使用。他分享,人工鑽石應用於晶片的起步,應在2005年他與高壓科學權威的博士毛河光在台灣發表的相關研究,正式讓人工鑽石在晶片上的研究在台灣受到重視。 

而最大的技術突破點發生於2003至2005年,朱宏宥說明,毛河光與顏志學在卡內基的實驗室發現快速生長鑽石的方法。此法就是把鑽石成長速率提高近百倍,所以生成兩到三克拉的鑽石,可從一至兩年的時間縮短到約一至兩週,每小時生長可達0.5至10微米不等。顏志學補充,因成長速率很快,所以成本也降至天然鑽石的十分之一甚至更低。此突破為人工鑽石在半導體晶片奠定基礎,也成為台灣CVD技術的重要里程碑。

以785nm雷射拉曼光譜儀測出的天然鑽石(棕色)與CVD鑽石(藍色)光譜對比。攝影/向時薇

高散熱優勢 提升運行效率

朱宏宥說明,隨著 AI 運算、資料中心與電動車等領域發展,高功率元件的需求持續攀升,晶片散熱已經成為半導體性能提升的主要瓶頸。常見半導體材料有矽、鍺 、碳化矽及氮化鎵等,在高頻、高功耗運作下容易累積熱量,引發晶片降頻甚至當機。

顏志學指出,矽的導熱係數僅約 149 W/mK,人工鑽石的導熱係數可達 2000 W/mK 左右,是矽的十倍以上,亦大幅高於其他高導熱材料。朱宏宥以生活化的比喻解釋,將鑽石貼於晶片上,就好比將散熱貼黏於身體,能迅速分散熱量、降低溫度。同時也能減少對風扇等額外設備的依賴,讓裝置運行更穩定。

在材料特性上,顏志學說明,鑽石作為超寬能隙材料,除了有承受極高導熱率,也具備經受高電壓、高頻及高溫耐受等特性。尤其適用於高功率充電、電動車及雷射模組等領域。顏志學表示,鑽石晶片在極端環境下的應用潛力遠高於傳統矽和碳化矽材料,為最終端的半導體材料。

除了物理特性外,人工鑽石製程的可控性也是其重要優勢。朱宏宥指出,天然鑽石因生成環境複雜,雜質及尺寸差異大,難以穩定量產;人工鑽石則可精準控制厚度、純度與晶格缺陷,確保每片晶片性能一致。他指出,這種穩定性不僅提升散熱效果,也延長晶片使用壽命,在極端環境下仍能維持高效運作。

CVD鑽石(左)、天然鑽石(中)、未打磨過的高溫高壓鑽石(右)。攝影/李珺綺

抗極端環境 應用層面廣泛

人工鑽石晶片的應用正從實驗室走向實際產品。顏志學指出,極端環境、高頻高功率元件與量子電腦系統,是目前最具潛力的使用場景。

中央大學太空科學與工程學系教授趙吉光舉例,在太空任務中,寬頻衛星搭載的通訊載荷,其設計面臨的核心挑戰在散熱與耐高溫能力。矽基元件耐溫約150至200度,氮化鎵約250度,而鑽石基元件可達300度以上,更能承受衛星通訊放大器的熱負荷。低軌衛星日夜溫差劇烈,一般半導體材料容易因熱循環老化,但鑽石材料能維持穩定特性,且具備強抗輻射能力,特別適用於通訊載荷、電源管理以及高電壓模組等太空設備。

朱宏宥補充,人工鑽石在量子電腦領域同樣具潛力。傳統量子電腦必須在極低溫環境下運作,以維持量子態的穩定性,因此裝置體積龐大、能耗高,且冷卻系統成本昂貴。人工鑽石晶片則可在室溫維持量子特性,意味著量子運算裝置未來有可能大幅縮小體積,降低冷卻與運行成本,推進量子技術商用化。

然而人工鑽石晶片的商業化仍面臨瓶頸。顏志學指出,目前大面積單晶製程技術尚不成熟,現階段鑽石尺寸多為指甲大小,即使可拼接至手掌大小,因接合界面可能影響性能,仍難達到晶圓級需求。他認為,只要突破成本與大面積單晶製程,鑽石作為「終極半導體材料」的潛力將全面展開,其獨特性能未來有望改變半導體供應鏈結構,帶動新一波產業升級。 

朱宏宥表示,人工鑽石晶片憑藉耐高溫、高壓、導熱及量子運算潛力,在高端半導體應用中具不可替代性。隨著技術成熟與產能擴張,來10到20年,人工鑽石晶片有望成為關鍵核心材料,廣泛應用於能源、交通、資訊及國防等多領域。

量測粗糙度、3D表面形貌及膜厚的白光干涉儀。攝影/向時薇

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